マイクロコンタクトプリンタ MPシリーズ
最終更新日:2015/04/30
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試料表面とマスクパターンの同時位置合せが可能
【MPシリーズ】は、セルフアセンブル膜を転写するマイクロコンタクトプリンタ。PDMSスタンプを取付け、スタンプ台からインクを補充して試料とスタンプをアライメントし、試料台を上昇させて試料上にセルフアセンブル膜を転写する。露光解像度：ライン＆スペース１〜2μm、スタンプ位置合せ精度：Z軸分解能1μm、最大試料サイズ：4インチ。
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