高速モジュラーマウンタ FX-1
最終更新日:2015/03/03
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クラス最高レベルの高速搭載を実現
【FX-1】は、33,000CPHの搭載速度を実現する高速モジュラーマウンタ。マルチレーザヘッド2基（4ノズル）をリニアモータ駆動のX軸上に配置。一方のヘッドが搭載時に他方のヘッドが吸着を行う動作を交互に繰返すことで高速化を達成。新開発のリニアモータを採用したシンプルな構造で、高速化と優れた振動特性の軸制御を実現。
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