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BA型電離真空計 TG102S

(株)アンペール

最終更新日:2014/02/01

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感度の落ちないセパレート型ゲージ

【TG102S】は、測定子とコントローラを専用ケーブルで接続するセパレート型ゲージの電離真空計。コレクターとグリッドを加熱することにより、電子衝撃脱離(ESD)誤差が排除されるため、10-5Pa以下でも正確な測定が可能で、有機性汚染ガス中で感度が低下しないのが特長。また、電極を清浄に保つため、電子／イオンの軌道が安定し、感度の変化が少なくなり、長期間測定子の交換が不要。専用Windowsアプリケーションで圧力推移を記録(グラフ表示)でき、国家標準で校正されたスピングローターゲージを使用して、比較校正済み製品を出荷。

　　　　　　　　

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