開閉度調整可能式真空ゲートバルブ Throttlemaster

【Throttlemaster】は、スライドゲート式の採用により全開時におけるゲート口の障害物を排除し、真空引き速度、排気速度時間への影響を最小限としたVRC社製開閉度調整式真空ゲートバルブ。真空圧力面、大気圧面の両方のゲートに使用でき、専用コントローラとサーボモータ駆動式ゲートを組み合わせることで、ゲート開閉度を従来の3ポジション(全開、全閉、半開)から、0～100％の間で微細に調節可能。ゲート駆動はコントローラー手動操作とクローズドループ制御に対応し、例えば90％クローズ時のゲートとシール部表面間の距離はわずか0.9mmと、高い駆動制御を発揮する。