一体型チルトセンサ

本製品は、信号処理部を筐体に内蔵した一体型光学センサ。測定値が光学センサ本体から出力されるため場所を取らず、設備設置の自由度が広がり、例えば半導体ウェーハのハンドリング時のクラッシュ防止やウェーハの反りを監視することなどが可能となる。従来の一体型チルトセンサと比較して小型化を実現しており、、測定スピードも1,600回／秒と高速測定を達成。チルト(θX-θY)：±54分(1.8deg)(円形範囲)、ワーキングディスタンス：0～200mm、測定対象物：半導体ウェーハ・光学平面、光源波長：660±10nm、外形寸法：W65×D75×H34mm、出力更新レート：1,600回／秒。