流量センサモジュール FS1012／FS2012

【FS1012／FS2012】は、液体と気体の両方に適したMEMSベースの高性能デジタル流量センサモジュール。可動部品および空洞部を覆う壊れやすい隔膜がないうえ、SiCコーティングで保護し、詰まりや液体に対する感圧性を排除。優れた耐衝撃性に加え、化学物質によるセンサ素子の損傷を防止。食品グレードにも対応しており、二次汚染が重大な要素となる用途に最適。誤差をわずか2％に抑えた高精度測定が可能。－40～125℃の広い動作温度範囲、3～5Vという汎用性の高い供給電圧範囲により、システム設計の統合における制約を緩和。FS1012はアナログ出力を備えた未校正のスタンドアロン型。FS2012は完全校正済みバージョンで、アナログからデジタルへのコンバータを内蔵しているほか、温度補正回路により複雑なデジタルシステムにおけるプラグアンドプレイ使用が可能。