真空アニール炉用ランプヒーター

本製品は、真空チャンバー内に組み込めるアニール用ランプヒーターユニット。ハロゲンランプヒーターを使用しており電力に対する熱損失が少なく、高効率。立ち上がり・立ち下がりの応答性能も非常に高いため、瞬時加熱が可能。直線タイプや丸型、異形状など様々な形状へのカスタマイズにも対応。各種ウエハ、基板のサイズに合わせて、加熱エリアを設定することができる。最大到達温度：1000℃、最大昇温速度：50℃／sec(応相談にて変更可)、ウエハ最高温度：900℃、照射面積：手のひらサイズ～L寸1500mm程度。ミラーやレンズによる集光・散光が可能。