モバイルロードロック機構
最終更新日:2014/02/01
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ナノデバイス試料を超高真空下に長期間保管し輸送可能
汚染に敏感なナノデバイス試料を超高真空下に20時間以上長期間保管し輸送できるロードロック機構である。電池駆動のイオンポンプを使用し、スーツケースに入れて海外へ輸送することも可能。
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