非接触搬送装置 極薄ウエハ用非接触搬送装置
最終更新日:2015/03/04
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厚さ30μm、φ300mmの極薄ウエハに対応
【極薄ウエハ用非接触搬送装置】は、空気噴出口から噴出した高速気流が直接ワークに当たらない機構で、ウエハにストレスを生じさせず、傷や汚れを付着させない。30μmのφ300mmの極薄ウエハを、反り曲げを生じさせずに非接触状態で懸垂保持、ハンドリング可能。薄い、脆いワークも非接触状態で懸垂保持、ハンドリング可能。
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