反り・曲がりウエハ非接触搬送装置
最終更新日:2014/01/31
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反り・曲がり・極薄ウエハを非接触にて搬送
GaAsウエハ、極薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送する反り・曲がりウエハ非接触搬送装置。新しく開発した気体噴出ノズル、排出部(Pat.Pend.)を採用し、反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしたもので、気体を噴出することによりウエハを非接触で懸垂保持する。反りウエハを非接触にて把持、搬送できるため、ウエハに損傷を与えり、汚れを付けたりすることがない。反りのあるウエハ、GaSaウエハ、極薄ウエハ、表面処理ウエハに対応する。
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