ベルヌーイチャック 非接触搬送装置

ソーラーリサーチ研究所では、同社が発明・開発したベルヌーイチャック「フロートチャック」を用いたベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置のオーダーメイド製作を行っている。非接触搬送機器「ベルヌーイチャック」は、 空気を噴出することでワークを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し、搬送するもので、ウエハ非接触搬送装置やガラス基板非接触搬送装置など多彩な装置に適用可能。主な装置は以下。

・ウエハ非接触搬送装置
・ガラス基板非接触搬送装置
・非接触ピンセット
・太陽電池ウエハ非接触搬送装置
・ウエハチップ非接触搬送装置
・レンズ非接触搬送装置
・フィルム非接触搬送装置
・プリント基板、FPC非接触搬送装置
・不織布非接触搬送装置
・エア浮上高精度検査テーブル
・シート枚葉送出装置