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COG用エキシマVUV/O3洗浄装置

(株)エム・ディ・エキシマ

最終更新日:2014/01/30

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  • COG用エキシマVUV/O3洗浄装置
メンテナンス性に優れ、低ランニングコスト
【COG用エキシマVUV/O3洗浄装置】は、UVとオゾンによる電子部品洗浄装置。有機物汚染洗浄や表面改質により、接合時の信頼性や品質向上を実現する。インラインの既存製造設備に組込むことで、高速で連続した処理が行える。窒素ガスの消費量が少なく、低ランニングコストで、ランプユニットは簡単に交換できる。

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住所:
〒 224-0029
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Web:
http://www.mdexcimer.com