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真空搬送ロボット COVOT
(1)可搬重量:16kg
(2)最大リーチ :1,611mm
(3)軸数:6
(4)繰返し精度:<±0.05mm
(5)重量:235kg
(6)クリーンルームクラス:5 (ISO 14644-1に準拠)