光学式基板外観検査装置 SX5300

【SX5300】は、6／9／15μmのL／S（Line and Space）を検査できる光学式基板外観検査装置。従来の2値化をベースとした光学式検査装置と異なり、濃淡画像の情報を最大限に活用できるサブピクセル測長処理を行うことで安定した高い検出感度と低い過検出を両立させ、最速スループットを高次元で実現。歪みのある製品であっても、フォーカストラッキング機能による追従撮像で過検出のない検査が可能。対応基板サイズ：510×510mm、検査アルゴリズム：線幅・線間測長／パターンマッチング／エッジ検査／詳細PM、検査項目：線幅・線間(断線・ショート・細り・太り・欠け・ピンホール・ディッシュダウン・突起残銅)／スルーホール(位置ずれ・座切れ・孔径不良・詰まり・変形・座残り)、スループット：21／46／88秒／面。