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基板外観検査装置 SX5000/3000シリーズ

インスペック(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • 基板外観検査装置 SX5000/3000シリーズ
業界で最もファインパターン検査可能
【SX5000/3000シリーズ】は、同社の液晶ドライバテープ用基板外観検査装置でのパターン検査技術を発展させた新世代の基板外観検査装置。2値化をベースとした従来の基板外観検査装置とは根本的に異なり、濃淡画像の情報を最大限に活用できるサブピクセル測長処理を行うことにより、安定した高い検出感度と極めて低い過検出を両立させ、業界最速のスループットを高い次元で同時に実現。

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