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横型バッチ式ウェハー加熱炉

伯東株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • 横型バッチ式ウェハー加熱炉
複合炉／拡散・酸化・CVD・活性化アニール
(独)セントロサーム社製の横型バッチ式ウェハー加熱炉は、研究開発向け「E1200」、研究開発〜中量生産向け「E1550」、研究開発〜大量生産向け「E2000」の3機種をラインアップ。300mmウェハーまで対応可能な4つのプロセスチューブ(石英orシリコンカーバイド)を備えて、省スペース、かつ、低コストオブオーナーシップにより、生産コスト削減に貢献可能。主な特長は、
(1)プロセス：大気圧下、LP-CVD、PE-CVD
(2)最大チューブ数：4式(チューブ毎にそれぞれ異なるプロセスが可能)
(3)プロセスチューブ間の熱的干渉をゼロにする優れた冷却システム
(4)オプション：ウェハーボート自動搬送システム
(5)装置構成部のモジュール化により、立上げ作業やモジュール追加が容易
    　　　　　　　　

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