自動制御バルブ FCV-Cシリーズ

【FCV-Cシリーズ】は、流量計より現在流量の情報を取得し、制御が行える流量フィードバック型制御バルブ。アナログ瞬時流量信号(4～20mAまたは1～5V規格)出力機能を搭載した流量計と接続することで、流量コントローラシステムを構築可能。たとえば既設の配管ラインに本機を追加して、流量監視のみであったラインの流量制御ライン化が図れる。薬液供給ラインの流量低下や流量変動などの事象に対し、高性能ステッピングモータ採用による高速･高分解能制御処理で吐出流量を細かく制御、製造プロセスの安定化に貢献する。