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乾式基板洗浄装置

株式会社エルフォテック

最終更新日:2015/08/17

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  • 乾式基板洗浄装置
1μm以下の超微粒子も完全に除去
【乾式基板洗浄装置】は、基板表面に洗浄用粉体を吹きつけ、基板上の微粒子や汚れを洗浄用粉体と一緒に高圧吸引することにより、基板表面のクリーニングを行う装置。従来の乾式洗浄装置では不可能であった1μm以下の微粒子も完全除去。また、負圧による洗浄用粉体の流れにより基板表面を傷つけること無く付着した汚れも除去可能。基板表面の研磨加工も可能となったうえ、乾式のため基板の乾燥工程は不要。負圧のエネルギーを使用して洗浄を行うために装置からの紛体の飛散もなくクリーンルームでの使用が可能。
    　　　　　　　　

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社名：
株式会社エルフォテック
住所：
〒 463-0044
名古屋市守山区太田井３−６２
Web：
http://www.elfotec.co.jp/