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(株)アルバック
住所：
〒 253-8543
茅ヶ崎市萩園2500
Web：
http://www.ulvac.co.jp/

マルチイオンゲージ G-TRANシリーズ SH2

(株)アルバック

最終更新日:2014/02/01

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  • マルチイオンゲージ G-TRANシリーズ SH2
ランニングコストを大幅に低減した広帯域測定
【SH2】は、異なる測定範囲の測定子を接続できるトランスデューサ型のマルチイオンゲージ。従来方式の複数の原理を1つの匡体に組合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」、「測定子が複雑で故障しやすい」、「測定子が高価」などの問題が生じるが、この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷に対応する。
    　　　　　　　　

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