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超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ

日本スウェージロックFST

最終更新日:2021/05/31

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流量調節が手動で可能

【DRPシリーズ】は、流量調節が手動にて可能な超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ。独自の半球形のバルブ流路デザインとユニークなダイヤフラムの形状により、バルブ内部における流体の溜りを抑え、接液・接ガス表面全体を素早く洗浄できる。CMPスラリーや酸、化学薬品などを使用する過酷なウェットケミカル・プロセス用途にて優れた性能とメリットをもたらす。

流体機器│バルブ/継手│

製品カタログ・資料

: 超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.25MB【DRPシリーズ】は、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄できる超高純度フルオロポリマーダイヤフラムバルブ。特にスラリーを使用するCMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化を低減させるために、流体のせん断発生を最小限に抑制。独自形状のダイヤフラムは作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの完全性、長いサイクル・ライフを促進する。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸の透過を最小に低減。高い耐化学薬品性と純度を実現するため、接液・接ガス部に次世代フッ素樹脂、デュポンテフロンを採用。「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合。

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超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ技術情報(概要)

会社情報

: 工場最適化に、Swagelokのソリューションを。
日本スウェージロックFST
〒 663-8142 西宮市鳴尾浜1-1-1
電話 : 08033280693

https://www.japan.swagelok.solutions
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社名：: 日本スウェージロックFST

住所：: 〒 663-8142
西宮市鳴尾浜1-1-1

Web：: https://www.japan.swagelok.solutions

TEL：: 08033280693

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