【XDV-μ WAFER】は、ポリキャピラリーレンズを搭載し、ウェハーの膜厚測定と素材分析を自動測定できるよう特別設計された高性能蛍光X線式測定装置。非常に小さな測定スポットにおいて大きな励起強度を得ることが可能。