流水式超音波洗浄機 パルスジェットポイントタイプ
最終更新日:2021/07/30
このページを印刷超音波振動をクリーンな水流に乗せて洗浄、枚葉式洗浄に向いており生産ラインへの組込みが容易
【パルスジェットポイントタイプ】は、超音波振動をクリーンな水流に乗せて洗浄するパルスジェット洗浄機。主にウェーハやハードディスクを洗浄するために開発。放射された流水は超音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの輸送媒体として機能する。流水式のためパーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高い。用途・使用液に合わせて豊富なバリエーションから選択可能。1MHzで、定電力発振器採用のパルスジェットタイプ洗浄機「W-357-1MPG」。1.5MHzの高周波で微細なパーティクルを除去し、RS422Aにより通信が可能な「W-357-1.5MPG」、3MHzの採用でさらに細かいパーティクルを除去し、ダメージを抑える「W-357-3MPG」、400kHzでパーティクルの除去サイズが幅広く、さまざまな精密洗浄に対応する「W-357-04PG」。
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