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石英振動体型洗浄機 W-357-1MQG-SKC

本多電子株式会社

最終更新日:2021/08/03

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  • 石英振動体型洗浄機 W-357-1MQG-SKC
低ダメージ、高クリーン度を実現
【W-357-1MQG-SKC】は、石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。薬液との接液部に石英を用いることで、パッキンなどゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現。振動子を気体(窒素など)で冷却するため、周波数変動がなく安定した連続運転が可能。また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命。発振モード：単周波発振、定格出力：12W、公称発振周波数：1MHz、電源入力：AC100V～240V 単相 50／60Hz 300VA、外形寸法：80×250×100 (突起部は除く、ゴム足を含む)、質量：2.2kg。振動体ノズル：全長159mm・チャック部寸法：φ24mm・照射面積・24㎠、質量600g。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
本多電子株式会社
住所：
〒 441-3193
豊橋市大岩町小山塚20
Web：
http://www.honda-el.co.jp/

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