電顕装着型試験器 ナノインデンター

本製品は、電子顕微鏡(SEM／TEM)内に装着して、マイクロ／ナノサイズの構造の機械的特性(押し込み、圧縮、引張り、曲げ、引っ搔き、振動など)の試験をその場で観察(in-situ)計測できるメカニカルテスター、およびナノインデンター。ナノインデンテーション法では、測定対象へ加えた荷重と押し込み深さを荷重-変位曲線で表し、さらにそこから得られた情報を計算することで物質の硬度を評価する。また、電気試験や加温試験などにも対応。光学顕微鏡が付属した単体稼働モデルと、SEMや光学顕微鏡、シンクロトンビームなどに取り付け可能なモデルも用意。最小荷重単位は1nN～、最小変位検知は10pm～となっており、高精度な解析が行える。シリコン・石英ガラス・Ni合金などの素材のほか、深掘りエッチング(DRIE)、LIGA、レーザー加工などの製造プロセスでも活用可能。そのほか得られた画像をもとに、歪み・変位の分布を解析するデジタル画像相関法(DIC)による解析ソリューションも用意。