プラズマクリーナー
最終更新日:2015/08/14
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真空チャンバーと試料を同時にクリーニング
本製品は、電子顕微鏡や真空チャンバーの試料観察にて、コンタミを確実に除去することが可能なプラズマクリーナー。0.1mTorrの低圧でプラズマに点火、プラズマの発光をモニタリング、自動でRFインピーダンスをマッチング、自動でガス流量を制御可能といった特長を持つ。
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