3次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600

【ERA-600】は、高分解能SEM観察と試料表面の形状測定・粗さ解析が行える走査電子顕微鏡。調整作業を自動化したことで、観察しながらワンクリックで3D計測や複数点自動測定が行える。また4本の二次電子検出器の搭載により、確実な凹凸判断を実現する独自の凹凸2次電子像や、組成コントラストを強調した2次電子像など、さまざまな試料表面情報が得られる。EDS、EBSD、CLなどのオプションも搭載可能。またオプションの共通ホルダーを用いることで、超微小押し込み硬さ試験機「ENTシリーズ」とピンポイントで位置情報を共有できる。