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エピ成膜装置 PE1O6A

巴工業(株)

最終更新日:2019/10/19

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  • エピ成膜装置 PE1O6A
LPE社製、自動搬送式
【PE106A】は、LPE社独自の全自動搬送システム「カセット・トゥ・カセット方式」を採用した、コンパクト設計のエピ成膜装置。枚葉式6インチSiCエピ成膜装置として量産に対応でき、業界で最短クラスの過熱冷却を実現。ホットウォール型加熱誘導方式、3ゾーンからのガス導入システムを採用。

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企業基本情報

社名:
巴工業(株)
住所:
〒 141-0001
品川区北品川5-5-15 大崎ブライトコア19F
Web:
http://www.tomo-e.co.jp/