エピ成膜装置 PE1O6A
最終更新日:2019/10/19
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LPE社製、自動搬送式
【PE106A】は、LPE社独自の全自動搬送システム「カセット・トゥ・カセット方式」を採用した、コンパクト設計のエピ成膜装置。枚葉式6インチSiCエピ成膜装置として量産に対応でき、業界で最短クラスの過熱冷却を実現。ホットウォール型加熱誘導方式、3ゾーンからのガス導入システムを採用。
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