枚葉式スパッタリング装置 BMシリーズ
最終更新日:2020/03/31
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加飾から電波透過膜といった機能膜を高速で成膜可能
【BMシリーズ】は、加飾から電波透過膜といった機能膜の高速成膜が可能で、枚葉式メリットとして自動化が容易に対応できる高速枚葉式スパッタ装置。ワークサイズ別に「BM-600／700／760／900／1400をランアップ。
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