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枚葉式スパッタリング装置 BMシリーズ

芝浦メカトロニクス株式会社

最終更新日:2020/03/31

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  • 枚葉式スパッタリング装置 BMシリーズ
加飾から電波透過膜といった機能膜を高速で成膜可能
【BMシリーズ】は、加飾から電波透過膜といった機能膜の高速成膜が可能で、枚葉式メリットとして自動化が容易に対応できる高速枚葉式スパッタ装置。ワークサイズ別に「BM-600／700／760／900／1400をランアップ。
    　　　　　　　　
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枚葉式スパッタリング装置 ＢＭシリーズ
枚葉式スパッタリング装置 ＢＭシリーズ

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.28MB【BMシリーズ】は、加飾から電波透過膜といった機能膜の高速成膜が可能で、枚葉式メリットとして自動化が容易に対応できる高速枚葉式スパッタ装置。ワークサイズ別に「BM-600／700／760／900／1400をランアップ。

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企業基本情報

社名：
芝浦メカトロニクス株式会社
住所：
〒 247-8610
横浜市栄区笠間2-5-1
Web：
http://www.shibaura.co.jp/