ウエハケミカル洗浄装置 ME100
最終更新日:2014/02/01
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ケミカル温度調節・比抵抗計によりリンス効果を判断
【ME100】は、ウエハデバイス前工程終了後の8インチウエハに、薬液槽を2槽備えたケミカル処理、および2段階リンス洗浄処理をマニュアルにて行うコンパクト洗浄装置。また、将来、処理槽を2槽追加可能な設計となっている。用途としては、主に3次元実装の洗浄工程の研究開発用実験機、などが挙げられる。
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