ナノポジショニング ピエゾXYステージ NPS-XY-100A／NPS-XY-100A-UHV
最終更新日:2022/04/08
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スーパーインバー製の筐体で高い剛性を実現
【NPS-XY-100A／NPS-XY-100A-UHV】は、独自のフレクシャーガイドと静電容量センサを搭載し、サブナノメートルの分解能と繰り返し精度を有するナノポジショニング ピエゾXYステージ。「NPS-XY-100A-UHV」は、10-9 Torrの超高真空に対応。有限要素法を用いて開発した独自のフレクシャーガイドによって、XYZの動作の歪みは100μの動作範囲全体にわたって5マイクロラジアン、最大でも25マイクロラジアンにまで抑制。スーパーインバー製の筐体は、熱膨張率が極めて小さく(CTE 0.3ppm K-1、アルミは23ppmK-1)、熱ドリフトの問題発生を抑制する。線形性エラー：＜0.01％、共振周波数：＞350Hz。電子顕微鏡(AFM／SPM)に最適。
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