卓上型マスクレス露光装置 μMLA】
最終更新日:2020/12/22
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柔軟性に優れ、カスタマイズも可能
【μMLA】は、0.6μmの微細描画が可能なテーブルトップサイズのマスクレスアライナー。優れたマスクレステクノロジーを特長とし、微細構造を必要とするすべての研究開発領域に適したモデル。主な用途は、マイクロフルイディクス、マイクロオプティクス、センサ、MEMS、材料科学など。最小基板サイズ：5×5mm、最大基板サイズ：5×5インチ、最大描画エリア：100×100mm、対応基板厚み：0.1～12mm。
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