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卓上型マスクレス露光装置 μMLA】

ハイデルベルグ・インストルメンツ(株)

最終更新日:2020/12/22

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  • 卓上型マスクレス露光装置 μMLA】
柔軟性に優れ、カスタマイズも可能
【μMLA】は、0.6μmの微細描画が可能なテーブルトップサイズのマスクレスアライナー。優れたマスクレステクノロジーを特長とし、微細構造を必要とするすべての研究開発領域に適したモデル。主な用途は、マイクロフルイディクス、マイクロオプティクス、センサ、MEMS、材料科学など。最小基板サイズ:5×5mm、最大基板サイズ:5×5インチ、最大描画エリア:100×100mm、対応基板厚み:0.1~12mm。

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企業基本情報

社名:
ハイデルベルグ・インストルメンツ(株)
住所:
〒 226-0006
横浜市緑区白山1-18-2 ジャーマンインダストリーパーク
Web:
https://heidelberg-instruments.com/