層流差圧式質量流量コントローラ AFC／AFMシリーズ

【AFC／AFMシリーズ】は、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測制御するコントローラ。小型層流素子の採用により小型化を実現、流量素子の適切な選定により、微少流量(10nccm)から大流量(50NLM)まで対応可能。全流方式での流量計測・制御であり、流入するガスの一時的な水分混入や凝縮に強く、また、高速実流量応答制御も実現。ガス系の温度・圧力情報も出力できるため、ガス供給系の診断に最適。対象ガス：N₂、Air、H₂、CH₄、Ar、CO₂、CO、C₃H₈他、制御範囲：2〜100％ FS、精度：1％ FS、応答速度：2秒以内、電源電圧：DC24V ±10％ 200mA以下、寸法：面間寸法108mm／高さ62mm（コネクター除く）、継手：1／4スウェジロック相当継手（VCR相当継手対応可能）。