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インプレックス(株)
住所：
〒 193-0832
八王子市散田町3-38-21
Web：
http://www.imprex.com/

マスフローコントローラ MARU7000PI

インプレックス(株)

最終更新日:2016/02/12

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  • マスフローコントローラ MARU7000PI
高速反応時間および高精度を提供
【MARU7000PI】は、突然の圧力変化による乱れを抑制する圧力無反応機能を搭載したマスフローコントローラ(MK PRECISION社製)。RS-485またはDevice-Netを利用したデジタル通信タイプ。1秒以下の高速反応、フルスケール(5～35％)において±0.35％の高精度を発揮する。表面および内部は電解研磨が施されたSUS316Lステンレスを使用しており、耐食性に優れる。フローレート、圧力、温度などを4桁表示ディスプレイにLEDで表示でき、コスト削減に寄与する。フローレート：5sccm～30slm、最高駆動圧力：450kPa。
    　　　　　　　　

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