液体マスフローコントローラ LC-3000Lシリーズ
最終更新日:2022/07/01
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同社独自の流量センサにより各種液体流量を精密制御
【LC-3000Lシリーズ】は、ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラ。独自の周囲温度補償方式を採用した流量センサにより、長期流量安定を実現。ピエゾアクチュエータ採用による高速応答を達成。0.01～1.0g／min(C2H5OH換算)の流量制御が行え、液体はステンレスを腐食しないものであればすべて対応。ボディ面の幅は28.6mmで、バルブ一体型構造のコンパクト設計。ダイアフラムバルブ構造(デッドスペース極小、気泡が発生しにくい)、バイパスレス構造(液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由)を採用。汎用デジタルインターフェースを装備(RS-485準拠)。RoHS対応。
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