ペーパー制御精密液体供給システム CEMシステム

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ペーパー制御精密液体供給システム CEMシステム

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.63MB【CEMシステム】は、常圧や真空プロセスに適応可能なベーパー制御による精密液体供給システム。ベーパー発生システムは液体流量調節計、キャリアガス用MFC、温度制御された混合バルブと蒸発部で構成され、0.25〜1200g／hの液体流量に対し、50mln／min〜100ln／minの飽和ベーパー流量を発生させることが可能である。従来のバブラーシステムやベーパーソースコントローラでは、十分に扱えなかった低ベーパー圧力の液体や異なるベーパー圧力を持つ液体混合物のベーパーも即座に気化できる。他に、高速応答、高再現性、ガス／液体比率選定がフレキシブル、低運転温度などの特長がある。CVD、各種分析計やガスセンサのキャリブレーション、燃料電池の加湿などに利用できる。