ガス流量コントローラー SFC5400

【SFC5400】は、フルスケール50sccm～100slmの広範囲にわたる製品ラインアップによりガス流量を測定制御可能なコントローラー。測定原理は同社の実績ある熱式マイクロセンサー技術を用い、高感度かつ高速応答の測定を可能にしている。また可動部分のない構造で、繰り返し測定精度が高い(0.1％対測定値)ことから、長期的に信頼性の高い測定が行える。MEMSセンシングの高速性からもたらされるセトリングタイム=50msecは比類のない短さであり、ガス切り替え時間を最小限に抑えたい顧客の要求を満たす。また制御流量の範囲は1000：1におよぶ大きなダイナミックレンジを持つことから、本製品1個でも広範囲のガス流量を精度よく制御可能である。通信手段は従来のアナログ出力以外にも長距離バス通信を可能とするRS485、IO-LinkまたDevice netにも対応。卓越した感度と測定速度によりガスクロマトグラフィなどの分析装置や生産装置などに最適である。