ガス流量コントローラー SFC5400

最終更新日:2016/06/03

分析機器および生産装置向け

【SFC5400】は、フルスケール50sccm～100slmの広範囲にわたる製品ラインアップによりガス流量を測定制御可能なコントローラー。測定原理は同社の実績ある熱式マイクロセンサー技術を用い、高感度かつ高速応答の測定を可能にしている。また可動部分のない構造で、繰り返し測定精度が高い(0.1％対測定値)ことから、長期的に信頼性の高い測定が行える。MEMSセンシングの高速性からもたらされるセトリングタイム=50msecは比類のない短さであり、ガス切り替え時間を最小限に抑えたい顧客の要求を満たす。また制御流量の範囲は1000：1におよぶ大きなダイナミックレンジを持つことから、本製品1個でも広範囲のガス流量を精度よく制御可能である。通信手段は従来のアナログ出力以外にも長距離バス通信を可能とするRS485、IO-LinkまたDevice netにも対応。卓越した感度と測定速度によりガスクロマトグラフィなどの分析装置や生産装置などに最適である。

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製品カタログ・資料

: マスフローコントローラー【製品カタログ】
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.11MBセンシリオンのマスフローコントローラーは、幅広い範囲のガスフローを高速かつ正確に制御できるのが特長です。革新的な CMOSens技術を基礎とするマスフローコントローラーの心臓部は、単一チップ上に必要な信号処理回路と一緒に集積された熱量測定マイクロセンサー (MEMS) です。流量は熱測定原理を使用して測定され、デジタル制御回路により効率的に制御されます。この独自に集積された技術アプローチにより、非常に魅力的なコストで優れたパフォーマンスと信頼性を実現しています。実装後、センシリオンのマスフローコントローラーをフィールドで再校正する必要はありません。【特長】 • 優れた繰り返し精度 (0.1% セットポイント) • 高精度 (0.8% セットポイント) • 幅広い制御範囲 (1000:1以上) • 超高速設定時間 (50 ms 未満) • ドリフトなしかつフィールドでの再校正不要 • 平均故障間隔 (MTBF) 169年 • オプションのマルチガス/流量レンジ • 小型・軽量 ※その他詳細についてはカタログをダウンロードください。