差圧式大流量コントローラー DPFC250シリーズ

【DPFC250シリーズ】は、流体の下流側に圧力検出穴を設置し流量管内との差圧により流量を測定する大流量コントローラ（マスフローコントローラー）。乱流での差圧測定を採用したことで、小さい流路径と流路長の短縮を実現、小型ながら大流量の計測が可能。また、微差圧計測により、ほとんど配管抵抗と同等高速応を発揮する。対象ガスはN₂、Air、H₂、CH₄、Ar、CO₂、水素はMax1000SLM(今後2000SLMを検討）。流量：100SLM／200SLM／500SLM／1000SLM／2000SLM／4000SLM、圧力：大気圧〜0.99MPa、基準校正圧力：0.2MPa／0.5MPa（指定要）、電源電圧：DC24V ±10％、応答性：設定値まで2秒以内（Typ.）。