スタッドバンプ測定装置 SBIT-100
最終更新日:2014/02/01
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2次元・3次元の同時検査、高速・高精度対応
【SBIT-100】は、従来不可能とされていたスタッドバンプの3次元測定を実現した装置。NG箇所のMAP表示／検査結果データ管理機能を持ち、スタッドバンプ・円錐バンプなどの先端バンプの高さおよび2次元形状をカメラにて撮像し、正確に計測することが可能。検査項目は、2次元：バンプ形状／バンプ径／バンプ位置ズレ、3次元：バンプ高さ／テール長さ。対象ウエハー：4インチ／6インチ、スループット：4インチ＝4分／6インチ＝6分、測定再現精度：δ＝1μm。ウエハサイズおよびカセット形状、全自動（カセットローダー付き）または半自動（手置き）など、希望により装置のカスタマイズ化が可能。
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