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基板最終外観検査装置

NEC東北産業システム(株)

最終更新日:2014/01/31

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  • 基板最終外観検査装置
検査作業の高品質・省力化を実現
【基板最終外観検査装置】は、ベア基板のレジスト部やパッド部の最終外観検査を自動的に行う装置。カラー画像処理と学習機能によってパッド部の微妙なむら・染み・汚れなどの検査を自動化し、従来の顕微鏡での目視検査作業を省力化できる。対象基板:金メッキ／銅メッキパッド品、基板サイズ:50×50〜200×200mm、分解能:16μm／画素、CCDカメラ:カラーラインセンサカメラ、照明:高輝度LED。
    　　　　　　　　

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