ナノインプリント装置 Xシリーズ(X-200)
最終更新日:2014/01/31
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数100ナノレベルのパターン転写に威力を発揮
【Xシリーズ(X-200)】は、独自の高精度ヘッド位置制御(APC Head)を採用し、とくに数百ナノレベルのパターン転写に優れた装置。ナノからミクロンまで幅広い加工条件設定と高い再現性を実現。金型・材料取付けから離型まで簡単な一貫システム。タッチパネルによるプログラム操作と、各条件の自由設定可能なマニュアル操作。
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