光学マクロ検査装置 OptoScan-700

【OptoScan-700】は、マクロ検査技術を利用した高速・高感度・大面積対応の欠陥検査装置。指向性の高いLEDアレイライン照明の採用により不要な反射光の影響を抑え確実に欠陥を抽出可能。マクロ視野の大面積撮像により撮像時間を大幅に短縮したほか、シリコン、Ni、石英、SiC、サファイア、各種化合物半導体、樹脂モールドなどさまざまな材質に対応。主な仕様は、装置サイズ：W1,018×D1,477×H1,861mm、撮像領域：300×300mm、撮像時間：約30秒（A4サイズ）、搭載可能サンプル厚：t＝〜50.0mm（最大）、など。モールドおよび被転写物上のパターン欠陥観察、モールド上の離型剤のムラ観察、モールドおよび被転写物上の汚れ観察、レジストなど塗布膜厚ムラ観察、結晶欠陥観察などと用途は多彩。