超高真空用エンコーダ
最終更新日:2024/10/02
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クリーンなUHV対応素材を使用した超高真空中用
【超高真空用エンコーダー】は、真空中での直動(リニア)と回転(ロータリー)の位置計測を行うためのセンサ。クリーンなUHV対応素材を使用し、ガス放出率は非常に低くなっているので、超高真空中での使用が可能。インターフェイスに内蔵されたセットアップLEDにより短時間で取り付けられ、大気側でのエンコーダの状態を確認可能。
その他の情報
- (1)オープン非接触光学式エンコーダ
(2)出力信号は、分解能5μm〜1nmのデジタル信号またはアナログ信号
(3)ダイナミックな信号の補正処理により、周期誤差(サブ・ディビジョナル・エラー：SDE)を≦±30nm
(4)クリーンな残留ガス分析(RGA)
(5)ベーキング温度120℃(48時間)
関連製品カタログ・資料
会社情報
レニショーの製品は、工作機械の自動運転、三次元測定、積層造形、ゲージング、ラマン分光測定、機械キャリブレーション、位置決めフィードバック、歯科用 CAD/CAM、形状記憶合金、大規模調査、定位神経外科と医療診断などの様々な用途に使用されています。
レニショー株式会社
レニショーでは、これらすべての領域においてお客様の長期的なパートナー企業となることを目指し、技術面ならびに営業面での優れたサポートを提供しながら、現在および未来のニーズに応える優れた製品を提供します。
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