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蛍光X線膜厚計 FT160シリーズ

株式会社日立ハイテクサイエンス

最終更新日:2022/03/16

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  • 蛍光X線膜厚計 FT160シリーズ
ポリキャピラリ光学系と高性能半導体検出器を搭載
【FT160シリーズ】は、微小・微細な電子部品などに施されたナノオーダーレベルのめっき膜厚測定に対し、ポリキャピラリ光学系と高性能半導体検出器を搭載し、高精度・高スループットを実現した蛍光X線膜厚計の最新モデル。X線光学系にポリキャピラリの採用により約30μmφに高輝度な1次X線を照射し高精度測定を実現。検出器系には高性能半導体検出器(SDD)を採用し、高計数率半導体検出器(SDD)で高精度測定が行える。画像処理ソフトウェアによる自動測定アシスト機能を搭載し、正確な多点自動測定による高効率化を実現している。シンプルなソフトウェアデザインとヘルプ機能により操作が容易で、日々のルーチン測定は、登録したアプリを用いて簡単に行える。作業者の安全・安心に配慮した装置デザインで、X線漏洩のリスクが非常に少ない密閉型筐体を採用。また、扉開口部を大きくし、試料の視認性や操作性を追求している。

製品カタログ・資料

蛍光X線膜厚計 FT100シリーズ
蛍光X線膜厚計 FT100シリーズ

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:5.36MB40年以上の実績を有するFT100シリーズを紹介。

会社情報

株式会社日立ハイテクサイエンス

株式会社日立ハイテクサイエンス*は、日立ハイテクグループの、分析・計測装置メーカーです。
幅広い製品ラインアップで、電子デバイス・環境・素材・エネルギーなどの産業分野、大学・研究機関での研究開発など、多彩な分野における観察・検査ニーズにお応えします。
*エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社より、2013年に商号変更いたしました。

株式会社日立ハイテクサイエンス
〒 105-6411  港区虎ノ門一丁目17-1

https://www.hitachi-hightech.com/hhs/
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