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社名：
東京エレクトロンデバイス(株)
住所：
〒 221-0056
横浜市神奈川区金港町1-4　横浜イーストスクエア
Web：
http://www.teldevice.co.jp/index.html

マクロ光学検査装置(表面欠陥装置)

東京エレクトロンデバイス(株)

最終更新日:2018/03/08

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  • マクロ光学検査装置(表面欠陥装置)
高感度・ナノオーダーの表面キズや歪みの検査を実現
マクロ検査は、「モノづくりの検査工程」において、広範囲で表面欠陥を検査する技術。マクロ光学検査装置は、同社独自開発のラインセンサカメラを用いて、エッジ反射光・複合反射光 ・ミー散乱光の変化を利用し、業界最高レベルの高感度・ナノオーダーの表面キズや歪みの検査を実現している。装置サイズ(ラボ用装置の場合)：W1020×D1700×H2200mm、検査時間(スマートフォンカバーガラスの場合)：8秒。
    　　　　　　　　

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