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イオンエネルギー測定器

(株)マツボー

最終更新日:2015/08/13

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  • イオンエネルギー測定器
各種のバイアス条件下で測定可能
本製品は、真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中におけるイオンエネルギーの測定を行う測定器。プラズマ放電中のプロセス内で、イオンエネルギー分布、イオンフラックス、ネガティブイオン、温度、バイアス電圧の測定が可能。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定できる。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能で、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行える。

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企業基本情報

社名:
(株)マツボー
住所:
〒 105-0001
港区虎ノ門3-8-21 33森ビル
Web:
http://www.matsubo.co.jp