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高周波計測器

(株)マツボー

最終更新日:2015/08/13

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  • 高周波計測器
RFの各パラメーターを高精度に測定
本製品は、チャンバー内におけるRFの高精度測定が可能な高周波計測器。1％の精度、1μsの時間分解能を実現。測定可能なパラメータは、電圧・電流・フェーズ・ハーモニクス・インピーダンス ・イオンフラックス・Waveform reconstructionであり、単周波数のみでなく複数の周波数の測定(Ocye Poly Octiv Suite)も行える。またイオンフラックスの測定（Octiv Suite）にも対応。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(株)マツボー
住所：
〒 105-0001
港区虎ノ門3-8-21　33森ビル
Web：
http://www.matsubo.co.jp