ハイブリッド式インクジェット描画装置 FemtoJetシリーズ
最終更新日:2016/02/13
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フェムト、ピコリットルの液滴をデジタル制御
【FemtoJetシリーズ】は、ピエゾヘッド、静電ヘッドを同時搭載したハイブリッド式インクジェット描画装置。粘度0.5〜1000mPa・sの液を非加熱で吐出することができ、さらに、超微細パターニングと高速パターニングの両立を実現。アライメント機能、液滴観察カメラ標準搭載。金属ナノ粒子液による10μm以下のラインやドットの形成、UV硬化液によるマイクロレンズの形成などに最適。
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