フォトニッククリーナー ASM401iMP

【ASM401iMP】は、製品の高精細化に適合したUVエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法を採用し、簡単な操作で立体物の洗浄が可能なUV洗浄表面改質装置。低圧水銀ランプが発する短波長の光エネルギー184.9nm、253.7nmはポテンシャルが高く、高精細基板製造過程で生じた有機汚染物質の結合を分解する強いエネルギーを持つ。同時に、立体物の表面上で紫外線ランプとエアーから生じたオゾンにより酸化反応が起こり、有機汚染物質は揮発性の二酸化炭素や水分となり飛散することで、立体物の表面を洗浄する仕組み。オゾン分解装置を内蔵し、オゾン漏れや紫外線漏れの心配がなく、扉開時にはランプが消灯する安全設計で、洗浄からオゾン排気までボタンを押すだけで誰でも簡単に操作可能。また、特殊形状の低圧水銀ランプを採用することで、立体物に対しても高出力・高均整を実現した。主な仕様は以下。

(1)外形寸法(mm)：本体 W350×D220×H235
(2)紫外線照度：10mW／cm²以上（照射距離10mm）
(3)照射エリア(mm)：W30×D100×H38
(4)その他：タイマーによる照射時間の制御、安全機能(扉開閉時のランプ消灯)、オゾン排気装置標準装備
(5)ユーティリティ：単相AC100V
(6)消費電力：30W
(7)重量：11kg
(8)オプション：治具（ピン式・穴式）複数