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インクジェット（IJ）応用薄膜塗布装置 インクジェット応用薄膜塗布装置

(株)SAT

最終更新日:2014/01/31

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  • インクジェット（IJ）応用薄膜塗布装置 インクジェット応用薄膜塗布装置
高品質薄膜の形成と安定塗布を実現
【インクジェット応用薄膜塗布装置】は、微小液滴を展開・結合制御し、基板上に膜厚10〜500nmの薄膜を形成する装置。目詰まりなどを予防し、安定塗布を維持する高信頼性メンテナンス機構を装備、IJ成膜特有の塗布端部の異常隆起がない高品質薄膜の形成と、安定塗布を実現。クリーン化構造と環境配慮のシステム構築が可能。
    　　　　　　　　

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