製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります
すべてのカテゴリー
  1. トップ
  2. 企業情報
  3. (株)ユメックス
  4. 製品
  5. レジスト塗布装置

レジスト塗布装置

(株)ユメックス

最終更新日:2014/02/01

このページを印刷
  • レジスト塗布装置
ピエゾ素子で高速な薬液を実現
【レジスト塗布装置】は、ピエゾ素子を用いて高速な液滴を実現した装置。ウエハ全面にレジストを均一に塗布した後に回転処理を行うため、ウエハから飛散するレジスト量を最小限に低減できる。液滴およびウエハ回転の速度を変更することで、レジスト膜厚を制御することが可能。4〜8インチのウエハの塗布が可能。
    　　　　　　　　

一緒に閲覧されている製品

レジスト塗布装置のお問い合わせ

お問い合わせはこちら

その他製品一覧

最新PDFもっとみる

高精度球面軸受 SRJシリーズヒーハイスト(株)
マニュアル作成・共有システム Teachme Biz(テ…(株)スタディスト
全地形対応クローラー台車信壹設計　株式会社
広帯域モードホップフリー波長可変半導体レーザ…トプティカフォトニクス(株)
CTL-005ザイン・モバイルテック㈱
PDF情報をもっと見る>>
ニュースリリース情報をもっと見る>>
最新展示会情報をもっと見る>>