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レジスト塗布装置

(株)ユメックス

最終更新日:2014/02/01

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  • レジスト塗布装置
ピエゾ素子で高速な薬液を実現
【レジスト塗布装置】は、ピエゾ素子を用いて高速な液滴を実現した装置。ウエハ全面にレジストを均一に塗布した後に回転処理を行うため、ウエハから飛散するレジスト量を最小限に低減できる。液滴およびウエハ回転の速度を変更することで、レジスト膜厚を制御することが可能。4〜8インチのウエハの塗布が可能。
    　　　　　　　　

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